技术详细介绍
本实用新型公开了一种大量程直线型相位光栅轮廓测量位移传感器。整体切割平行弹簧由一块弹簧钢板切割而成的机架和平行弹簧二部分构成,激光器位于机架上;标尺光栅固定在平行弹簧的端部;三个光栅相互平行;连接杆与标尺光栅连接,并通过铰链与测杆相连,测杆安装在十字簧片铰链上,触针固定在测杆的另一端;激光器发出的光束依次经过三个光栅产生干涉条纹,光电探测器接收三路干涉条纹,并将光信号转化为电信号,再传送给信号处理电路处理后输出。本实用新型测量位移传感器具有测量范围大、测量精度高、结构简单、成本低和无装配误差的特点。该传感器可用于测量工件的轮廓尺寸、表面形状误差、表面波度及表面粗糙度,该传感器测量范围为0～8MM、分辨率可达5NM。