技术详细介绍
一种二维外形轮廓自扫描投影测量装置
本发明公开了一种二维外形轮廓自扫描投影测量装置,它包括依次位于同一光路上的激光器、扩束镜、光缝隙、柱面镜组件、CCD和控制器,光缝隙位于光缝隙直线扫描器上,并由其驱动沿X向运动;光缝隙的长度大于被测的几何形体截面Y向的宽度,其缝宽小于X向的测量分辨率;柱面镜组件由柱面镜、或柱面镜和成像透镜组构成,控制器用于运动控制和测量信号的采集和处理。本发明长方向(X)的最小测量分辨率为20μm、宽方向(Y)的最小测量分辨率为1μm,而且被测对象与测量系统没有相对运动,即没有运动误差。由于运动件的质量很小,其扫描的工作极限频率大于200Hz。本发明具有光路短、简单和光噪声小的特点,且还具有结构简单、制造简便和稳定性好的特点。