技术详细介绍
基于宽带光干涉表面形貌测量方法及其测量仪，采用宽带光干涉装置，将被测物放置在计量型垂直位移工作台上，计量型垂直位移工作台放置在共基面运动X-Y工作台上。测量光照射被测物表面，由被测表面的反射光和参考光产生干涉条纹，利用宽带光干涉原理进行非接触式测量；在物镜下放置平面反射镜，平面反射镜随探针的上下移动而摆动，测量光照射平面反射镜，由平面反射镜的反射光和参考光产生干涉条纹，利用宽带光干涉原理进行接触式测量。本测量方法及其测量仪具有大量程、高分辨率、可接触与非接触测量、速度快、性价比高的特点。本发明可对工程表面的形貌，包括形状、波度、表面粗糙度进行综合测量，可满足工程表面全范围的表面形状测量，同时对于MEMS的几何尺寸、形状、振动等均可实现非接触测量。