[01358691]可控游离磨料行为的集群磁流变效应微磨头超光滑表面抛光加工工艺及其装置

基于磁流变效应，将磨料微粒混入磁流变液作为研抛液，在点阵工具磁极的作用下以小尺寸磁性体为基体形成磁流变效应研磨刷粘接聚集游离磨料，运用集群作用原理由多点磁流变效应研磨刷的阵列组合构成抛光盘，在其表面形成磨料均匀弥散分布的粘弹性介质层，实现对磨粒姿态、运动轨迹、滞留时间和磨料浓度的控制，达到提高超光滑抛光加工效率和精度的目的。主要技术指标、创新点： 与传统游离磨料抛光加工相比，可控磨料行为集群磁流变抛光工艺可提高抛光效率20%以上，有效减少抛光工程中出现的次表面损伤，保证产品的成品率。其创新点在于利用可控集群磁流变系统有效控制磨料的抛光加工过程。 成果适用范围及应用前景： 成果适用于微电子、光电子、光学器件脆硬材料及精密器械超光滑平面加工。成果的应用可提高超光滑平面抛光加工效率，有效减少抛光工程中出现的次表面损伤对加工质量的影响，提高产品的成品率。 投资规模及预期经济效益、社会效益： 提高超光滑平面抛光加工效率，有效减少抛光工程中出现的次表面损伤对加工质量的影响，提高产品的成品率。