[01349923]微电子用光刻胶成膜树脂
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技术详细介绍
本项目来源于国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”中“i线光刻胶研发与产业化”项目（项目编号：2010ZX02304）,及江苏省政策引导类计划（产学研合作）-前瞻性联合研究“高分辨率KrF光刻胶专用树脂的研究开发”项目（项目编号：BY2015019-14）。 项目设计并合成了i线光刻胶用酚醛树脂、248nm光刻胶用聚对羟基苯乙烯类线型及超支化聚合物和分子玻璃,结构及分子量可控;基于所合成树脂配制的i线光刻胶和248nm光刻胶经过用户验证测试,结果证明达到生产线工艺要求。