[00131293]法布里-珀罗型光纤压力传感器
交易价格： 面议
所属行业： 其他电气自动化
类型： 发明专利
技术成熟度： 正在研发
专利所属地：中国
专利号：200710020040.2
交易方式： 技术转让 技术转让 技术入股 技术转让 技术转让
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技术详细介绍
法布里-珀罗型光纤压力传感器
法布里-珀罗型光纤压力传感器，由硅片（1）、玻璃管（2）、光纤法兰盘（3）和光纤插头（4）构成
该光纤压力传感器的特征是：玻璃管的一端与硅片键合，玻璃管固定于光纤法兰盘的凹槽内，光纤插头的陶瓷插针通过白色瓷管（5）固定在玻璃管内，光纤插头的陶瓷插针与硅片的下表面形成法布里-珀罗腔。同时还公开了该传感器的制作方法。该光纤压力传感器制作简便，精度高，灵敏度高，可靠性好的光纤压力传感器。