[01292046]阶梯电流阻挡层垂直型功率器件
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技术详细介绍
本发明公开了一种阶梯电流阻挡层垂直型功率器件，主要解决现有同类器击穿电压低与导通电阻大的问题。
其包括：衬底（1）、漂移层（2）、孔径层（3）、左右两个对称的多级阶梯结构电流阻挡层（4）、沟道层（6）和势垒层（7），沟道层（6）和势垒层（7）的两侧刻蚀有源槽（10），两侧源槽（10）中淀积有两个源极（11），源极（11）之间的势垒层上外延有p型帽层（8），p型帽层（8）两侧刻有台阶（9），p型帽层（8）上面淀积有栅极（12），衬底（1）下面淀积有漏极（13），两个对称的电流阻挡层（4）之间形成孔径（5）。
本发明击穿电压高、工艺简单、导通电阻小、成品率高，可用于电力电子系统。