[01283671]等离子体化学气相沉积法制备高纯TiO_2纳米颗粒技术

技术先进性和成熟性：该项目是山西省科委工业科技攻关项目，于2000年5月通过鉴定。

它采用高频等离子化学气相沉积法(RF-PCVD)制备高纯TiO_2纳米颗粒，于其它方法相比，其工艺简单，成本低，可直接得到晶型产品，而不需要煅烧、退火等后处理过程，并易实现连续化生产。

因RF-PCVD法无电极放电，其产品具有纯度高、呈球形、粒度小、分布窄、颗粒分散性好等特点。

该项研究首先开发出一套可用来制备高纯、纳米材料的功率为3kW，频率为27.12MHz的高频等离子反应器系统，实验证明可长期运行，已制备出光催化活性较高的锐钛型TiO_2纯度为99.62%，经日本东京大学高分辨透射电镜分析，颗粒的平均粒径为35nm，并寻找出制备锐钛型TiO_2纳米颗粒的最佳操作条件。

其制备方法和相关技术达到国内领先水平；产品的主要性能达到国际先进水平。

该等离子体反应器系统，有一定的通用性，除可制备纳米TiO_2外，还可制备其他无机类纳米颗粒。

市场预测：纳米TiO_2具有湿敏、温敏、气敏及吸收紫外线能力强、表面吸附能力大、热导性高、光催化活性很强等特性，在传感器、尺寸功能陶瓷、高档化妆品以及光催化剂等方面具有广阔的应用前景。它是继开发成功云母钛珠光颜料后的又一个创举，属于用量虽小但附加值甚高的超精细化工原料。

许多国际上著名的化工和材料公司，把目光投向纳米TiO_2的制备与应用。BASF公司是开发纳米TiO_2的先驱，并着力将其应用于金属色面漆。美国TiO_2公司已经开发出了专门的防晒面霜用纳米TiO_2，日本村田珠式会社用纳米TiO_2制作出了世界上最优良的PTC元件。在中国，已有人在研究和开发纳米TiO_2冰箱除臭材料和空气净化材料。

1993年世界TiO_2产量为300万吨，年平均增长率为3-5%，中国生产能力为5万吨/年，几乎为中低档产品，纳米级产品空白。

投资估算：该项目生产装置包括：等离子体发生器，反应器，进料系统，产品收集及尾气处理系统。4套30kW等离子体反应器系统，投资额约为500万元。