技术详细介绍
中科院固体物理研究所研究团队通过对纳米材料和微加工技术的有机融合，发展了一种基于有序纳米结构阵列的电阻型气体传感器。以酒精气体为例，该类传感器检测极限达10ppb量级，响应时间在1秒量级，制造重复性和器件一致性好，可实现规模化生产，综合性能优异，可用于物联网用传感器；特别的，该类传感器对沙林等生化毒剂显示出优异的敏感特性和选择特性。目前，他们已获得该类传感器样机，实现了器件和功能应用的集成。
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