[01196059]聚二甲基硅氧烷微流控芯片复型光固化树脂模具制作方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种聚二甲基硅氧烷微流控芯片复型光固化树脂模具制作方法,采用环氧类光敏树脂配制的液态光刻胶为微模具材料,以石英玻璃为背衬基片,通过基片上的硅烷偶联剂涂层增加模具结构与基片的结合力,用在基片周围粘贴不同厚度的塑料薄片的方法控制光刻胶厚度,以高分辨率激光照排机输出的感光软片为光刻掩模,以普通紫外灯或紫外线激光器为曝光光源,以F46薄膜为曝光时的保护膜,以无水乙醇为显影液,通过振荡获得干净清晰的显影轮廓,通过显影后的二次光固化提高结构强度及结构与基片的结合力。该模具可用于复制PDMS材料的微流控芯片、生物芯片、压印光刻工艺中使用的软模具,还可用于其它微机械电子系统（MEMS）的加工领域。