[01162316]生物检测芯片
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技术详细介绍
本发明公开了一种基于流体光波导的生物检测芯片,属于微机械电子系统（MEMS）中的生物检测领域。其结构依次包括基底I、结构层和基底II,结构层上有与基底I和基底II平行的微管道,其两端分别与输入口5和输出口7连通。一对金属电极分别处在基底I和基底II上相应的位置上,或者处在结构层的两个内壁上。基底I上与结构层上输入口5和输出口7相应的位置上布有开孔,两段固体光波导I？8分别位于微管道两端。本发明由于可以使用任意同种流体制作流体光波导,使得流体光波导的材料选择性更灵活;通过简单电路控制,实现了光的稳定传播和生物检测,为生物细胞及生物大分子的光学检测提供了简便工具。