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[00111533]双色铟镓砷红外探测器及其制备方法和应用

交易价格: 面议

所属行业:

类型: 专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN200610034286.0

交易方式: 技术转让

联系人: 华南师范大学

进入空间

所在地:广东广州市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  本发明涉及一种双色铟镓砷(InGaAs)红外探测器,是在铟磷((InP)衬底上依次生长有InX Ga1-X As材料的适合探测3-5μm红外线波的光导层、绝缘层,适合探测1-3μm红外线波的PIN结构的InGaAs材料层。所述的红外探测器的制备方法是用金属有机气相淀积技术在InP衬底上生长InGaAs材料,制备一种对1-3μm、3-5μm两个波段同时探测的红外外延片,再用该外延片制造两个波段的红外探测器。该红外探测器可以用于制备多方向测量红外信号器件。
  本发明涉及一种双色铟镓砷(InGaAs)红外探测器,是在铟磷((InP)衬底上依次生长有InX Ga1-X As材料的适合探测3-5μm红外线波的光导层、绝缘层,适合探测1-3μm红外线波的PIN结构的InGaAs材料层。所述的红外探测器的制备方法是用金属有机气相淀积技术在InP衬底上生长InGaAs材料,制备一种对1-3μm、3-5μm两个波段同时探测的红外外延片,再用该外延片制造两个波段的红外探测器。该红外探测器可以用于制备多方向测量红外信号器件。

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