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[00111181]成膜装置和成膜方法

交易价格： 面议

所属行业： 微电子

类型： 专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：200680011225.0

交易方式： 技术转让

联系人：东北大学

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所在地：辽宁沈阳市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

　　一种成膜装置及成膜方法。成膜装置具有向喷出容器内喷出有机EL分子气体的结构,具有多个有机EL原料容器、连接多个有机EL原料容器和喷出容器的配管系,多个有机EL原料容器有选择地成为有机EL分子供给状态,该配管系供给输送气体,使得在各有机EL原料容器内,在成膜时和非成膜时成为相同的压力。在非成膜时,输送气体从有机EL原料容器之一流向其它原料容器。

[00111181]成膜装置和成膜方法

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