[00110554]支撑销的制造方法、支撑销、热处理装置以及基板烧成炉
交易价格：
面议
所属行业：
黑色金属开采冶炼
类型：
专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：200810093351.6
交易方式：
技术转让
联系人：
东北大学
进入空间
所在地：辽宁沈阳市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明提供一种支撑销的制造方法、支撑销、热处理装置以及基板烧成炉,该支撑销对被实施加热处理的基板进行支撑,对热分解、氧化分解具有高度的耐久性。首 先,将主体部(101)的成形材料(优选树脂)在氧气以及/或者水分的含有浓度为10PPM以下的环境下射出成形为给定的销形状来形成支撑销(100)的 主体部(101)。接着,在所得到的主体部(101)的表面,通过静电粉末涂装形成氟碳膜(102)。由此,得到对被实施加热处理的基板进行支撑的支撑销 (100)。
本发明提供一种支撑销的制造方法、支撑销、热处理装置以及基板烧成炉,该支撑销对被实施加热处理的基板进行支撑,对热分解、氧化分解具有高度的耐久性。首 先,将主体部(101)的成形材料(优选树脂)在氧气以及/或者水分的含有浓度为10PPM以下的环境下射出成形为给定的销形状来形成支撑销(100)的 主体部(101)。接着,在所得到的主体部(101)的表面,通过静电粉末涂装形成氟碳膜(102)。由此,得到对被实施加热处理的基板进行支撑的支撑销 (100)。
