[01089866]模具TIC+TIN化学气相沉积新工艺应用研究
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技术详细介绍
用化学气相沉积法（简称ＣＶＤ法）在工模具钢，硬质合金和结构钢等制做的工模具和零件上，涂复几μｍ到１０几μｍ的ＴｉＣ，ＴｉＮ或ＴｉＣ＋ＴｉＮ薄膜，可提高其使用寿命几倍到几十倍。把工件加热到一定温度后，通入Ｈ2 ，Ｎ2 、Ｔｉｃｌ4 ，Ｃ6 Ｈ5 ＣＨ3 等气体，经一定时间即在工件表面上均匀涂复上ＴｉＣ，ＴｉＮ或Ｔｉｃ＋ＴｉＮ薄膜，该薄膜具有硬度高（Ｈｖ＞２０００ｋｇ／ｍｍ），耐磨，耐蚀，抗粘结等性能。使用涂层模具可大大提高使用寿命，防止粘模，提高产品表面光洁度，节省修模换模时间，提高工作速度等。所用设备简单，投资少，操作容易，涂层成本低，节省能源，对环境无污染。