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技术详细介绍
目前，实现对微孔测量的方法有多种，传统方法是操作者通过工具显微镜观察微孔的放大图像，利用人工进行测量。这种方法有效率低，精度不足，稳定性差等缺点；也有采用CCD摄像头，用它将放大后的微孔图像通过图像采集电路输入到计算机中，通过手工鼠标划线或刻度尺等方法确定微孔孔径的起始点和终止点位置，进而计算得到微孔孔径，这种方法虽然提高了测量精度，但它仍未实现自动测量功能，存在着操作繁琐，效率低等缺点。课题组采用数字图像处理技术实现对微孔孔径自动测量的方法，并可以有效地减少微孔周围的椒盐噪声对测量精度的影响。具体操作方法中要操作人员将放大调焦后的微孔图像显示在计算机的屏幕上(显示位置无任何要求)并且按测量按钮即可完成微孔的测量。主要技术指标：①测量范围：5um-400um；②测量重复性±2um(400um测量范围下)；③可以进行打印；④可以进行处理前或处理后图像的存储以及打印；⑤可以自动生成数据库；专利申请号：02137742.1；适用范围：①适用于孔类器件的快速测量；②改进后适用于孔类器件的全自动实时测量。