相位调制型激光自混合干涉仪

技术简介： 通过电光晶体正弦相位调制,采用高精度相位解调技术（含时域解调和频域解调）,实现大尺寸高精度的位移测量。经江苏省计量科学研究院的校准,本套设备在300mm的范围内具有0.25μm的测量精度,不确定…… 查看详细 >