一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的双平面线圈驱动式微泵

技术简介： 摘要：本实用新型公开了一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的双平面线圈驱动式微泵，包括泵体、将该泵体分成上、下泵体的基片，上泵体的上表面设有上平面螺旋线圈，该上平面螺旋线圈与外部电源电连接…… 查看详细 >